氮化鋁陶瓷基板燒結爐/氮化硅陶瓷基板壓力燒結爐
氮化鋁陶瓷因具有高導熱系數、優異的電絕緣性、與硅匹配的熱膨脹系數等特點，其燒結產品廣泛應用于：電子封裝領域（作為芯片散熱基板、功率器件封裝外殼，替代傳統氧化鋁陶瓷，提升散熱效率），半導體制造（用于制作晶圓載盤、射頻器件絕緣部件等，適應高溫、高頻工作環境），航空航天與新能源(作為耐高溫、耐腐蝕的結構材料，用于航天器熱控部件、新能源汽車功率模塊等)。
氮化鋁燒結爐是專門用于氮化鋁（AlN）陶瓷材料燒結的脫氣和燒結，其核心功能是通過精確控制溫度、氣氛、壓力等工藝參數，使氮化鋁坯體在高溫環境下完成致密化。
產品優勢
■ 高性能
- 采用德國、日本進口石墨材。
- 采用日本質量流量計、真空計、PLC等控制系統。
- 6組日本紅外測溫儀，保證高溫溫度準確性。
- 適用于氮化鋁等非氧化系陶瓷的燒結
■ 6區獨立控溫系統
- 6區加熱系統完全獨立。
- 整爐溫度分布（均溫性）≤2℃
- 均溫性檢測采用熱電偶和產品雙驗證。
- 6區域可獨立設定溫度，進行區域調整或補償。
- 溫度的響應速度大幅改善。
■ 創新的氣流設計
- 石墨密封箱內外氣流分離，氣氛分離。
- 石墨密封箱內的氣流，由內進氣管道直接充入，
- 從內抽氣管道抽出。
- 石墨密封箱外的氣流，由外進氣管道直接充入，
- 從外抽氣管道抽出。
- 避免了真空泄漏對產品的影響。
- 使產品區域氣氛保持潔凈，從而提高良率
我們的優勢
控制精準
具有十多年燒結爐設計經驗，對真空，控溫和氣流的理解非常深刻,并有一整套系統進行測試，達到世界領先的溫度控制，氣流控制和真空控制。
尺寸齊全
恒普燒結爐品種豐富，種類齊全，涵蓋了從實驗到量產，再到大批量生產的全部設備，滿足了客戶不同階段的需求。
快速服務
具有十多年的售后服務經驗，能在短時間內找到問題并解決，快速的售后零部件發送。
定制豐富
恒普可以根據您的材料，應用領域，使用場景的不同定制專業的燒結爐，也可以在我們標準爐的基礎上進行不同配置的選擇。
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氮化鋁陶瓷因具有高導熱系數、優異的電絕緣性、與硅匹配的熱膨脹系數等特點，其燒結產品廣泛應用于：電子封裝領域（作為芯片散熱基板、功率器件封裝外殼，替代傳統氧化鋁陶瓷，提升散熱效率），半導體制造（用于制作晶圓載盤、射頻器件絕緣部件等，適應高溫、高頻工作環境），航空航天與新能源(作為耐高溫、耐腐蝕的結構材料，用于航天器熱控部件、新能源汽車功率模塊等)。
氮化鋁燒結爐是專門用于氮化鋁（AlN）陶瓷材料燒結的脫氣和燒結，其核心功能是通過精確控制溫度、氣氛、壓力等工藝參數，使氮化鋁坯體在高溫環境下完成致密化。
- 處理箱尺寸(cm)VM40/40/150-S
- 最高溫度2000℃
- 使用溫度1800℃
- 溫度分布±5℃
- 極限真空≤0.7Pa
- 使用氣體N2
- 電源容量(KVA）260